Epitaxie von Metallaufdampfschichten: Zusammenhang zwischen by Ludwig Reimer

By Ludwig Reimer

Unter Epitaxie versteht guy das orientierte Aufwachsen dünner Schichten auf einer kristallinen Unterlage. Im Idealfall erreicht guy einkristalline Schichten, welche die Kristallorientierung der Unterlage fortsetzen. Bei der Aufdampf­ methode muß guy in der Regel erhöhte Temperaturen der Unterlage während des Aufdampfprozesses anwenden, um Epitaxie zu erreichen. In vielen Fällen spielen auch Adsorptionsschichten auf den kristallinen Unterlagen eine Rolle. Zum Bei­ spiel wurde in der vorliegenden Arbeit die Epitaxie von Eisenschichten auf Stein­ salz-Spaltflächen durch den H 0-Partialdruck begünstigt. 2 Das praktische Interesse an einkristallinen Schichten beruht darauf, daß deren physikalische Eigenschaften besser mit denen des kompakten fabrics zu ver­ gleichen sind als polykristalline Schichten mit regelloser Kristallorientierung, die guy beim Aufdampfen auf amorpher Unterlage (Glas oder Kunststoff-Folien) er­ hält. In der vorliegenden Arbeit sind die Bedingungen untersucht, unter denen ein­ kristalline Wismut- und Eisen-Aufdampfschichten zu erhalten sind. Wismut zeigt wegen seiner Grenzstellung zwischen Metallen und Halbleitern einen relativ großen Hall-Effekt, der außerdem sehr anisotrop ist und in Abhängigkeit von der Orientierung das Vorzeichen wechseln kann. Den hohen Hall-Koeffizienten kann guy zur Messung magnetischer Felder mit Hall-Sonden ausnutzen. Um den Ein­ fluß einer abnehmenden Schichtdicke auf den Hall-Effekt zu untersuchen, battle es erwünscht, auch Messungen an einkristallinen Schichten verschiedener Orien­ tierung durchzuführen. Ein positives Vorzeichen des Hall-Effektes ist zu erwarten, wenn die (lll)-Ebene parallel zur Schicht liegt und das transversale Magnetfeld in Richtung der trigonalen Achse zeigt. Derartig orientierte Schichten konnten durch Epitaxie auf Glimmer-Spaltflächen erhalten werden.

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Phys. Giinter Waidmann, Gesellschaft z"r Förderllng der Glimmentladungsjorschung I. , 2 Tabellen. DM 16,30 HEFT 975 Prof. Dr. , 1 Tabelle. -Phys. Horst Küppers, Institllt für theoretisch, Physik der Universität Köln Die. , 5 Tabellen. DM 44,60 HEFT 983 Prof. DrAng. -Westj. Technischen Hochschule Aachen Berechnung der Druckwellen in Brennstoffeinspritzsystemen und in hydraulischen Ventilsteuerungen 1961. , 2 Tabellen. DM 33,90 HEFT 985 Dr. Hans Strack, Gesellschaft zur Förderung der Glimmentladungsjorschung e.

3 Tabellen. -lng. -Westf. Technischen Hochschule Aachen Leiter: Prof. -Ing. F. 46 Seiten, 21 Abb. DM 12,35 HEFT 332 Prof. -Ing. Rudolf Jaeckel und Dr. rer, nato C. Reich, Physikalisches Institut der Universität Bonn Messung von Dampfdrücken im Gebiet unter 10- 2 Torr 1956. , 2 Tabellen. DM 10,40 HEFT 334 Prof. Dr. phi/. Walter Weize/ lind Dr. Ter. 29 Seiten, 8 Abb. DM 9,30 HEFT 335 Prof. Dr. phil. , 1 Tabelle. DM 32,80 HEFT 341 Prof. DrAng. -Ing. , 1 Tabelle. DM 10,60 HEFT 344 Prof. -Ing. 21 Seiten, 12 Abb.

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